Информационные материалы для подготовки студентов

Расскажи одногруппникам: + 200 к карме:

Синтез алмазоподобных кремний-углеродных пленок методом высокочастотного плазмохимического осаждения





Содержание

Введение 4

1. Аналитический обзор литературы 6

1.1 Кремний - углеродные пленки 6

1.2 Механические свойства 6

1.3 Химические свойства 9

1.4 Электрические свойства 9

1.5 Оптические свойства 11

1.6 Радиационные свойства 13

1.7 Методы получения 15

1.8 Высокочастотный плазмохимический метод осаждения кремний-углеродных пленок 24

1.9 Выводы по аналитическому обзору литературы 26

2. Экспериментальная часть 27

2.1 Результаты синтеза 27

2.2 Сканирующая зондовая микроскопия 28

2.2.1 Атомно-силовая микроскопия 28

2.3 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 31

2.3.1 Элементный анализ 31

2.3.2 Обзорные спектры образцов 38

Выводы 41

Список использованных источников 42

Введение

В течение последних лет специалисты разработали немало технологических приемов осаждения алмазных пленок, толщина которых лежит от сотен ангстрем до нескольких миллиметров. И в настоящее время синтез алмазных и алмазоподобных пленок является актуальной задачей, ведь свойства таких пленок сравнимыми со свойствами алмаза.

Впервые алмазоподобные углеродные пленки (АПП) были получены методом ионно-лучевого осаждения на подложке из кремния, стекла и нержавеющей стали при комнатной температуре С. Айзенбергом и Р. Шабо в 1971 году. В его работах было описано получение твердых прозрачных пленок с удельным сопротивлением 1011Ом∙см и диэлектрической проницаемостью 8,4. Полученные им пленки были неустановленной кристаллической структуры со свойствами близкими к свойствам алмаза. Результаты экспериментов заинтересовали широкий круг исследователей и были неоднократно воспроизведены [1,2].Целью данной работы является отработка методики получения нелегированныхкремний-углеродных пленок методом плазмохимического осаждения и исследование их свойств.

Заключение

1. Отработана методика получения кремний-углеродных пленок.

2. Модернизированы и изготовлены технологические узлы и агрегаты для вакуумной напылительной установки, необходимые для синтеза кремний-углеродных пленок.

3. Получены образцы кремний-углеродных пленок на ситалловых подложках методом высокочастотного плазмохимического осаждения.

4. Были проведены эксперименты при T=350°C, P=10-3Tорр,U-max=500В,U+max=100В.

Список литературы

Введение 4

1. Аналитический обзор литературы 6

1.1 Кремний - углеродные пленки 6

1.2 Механические свойства 6

1.3 Химические свойства 9

1.4 Электрические свойства 9

1.5 Оптические свойства 11

1.6 Радиационные свойства 13

1.7 Методы получения 15

1.8 Высокочастотный плазмохимический метод осаждения кремний-углеродных пленок 24

1.9 Выводы по аналитическому обзору литературы 26

2. Экспериментальная часть 27

2.1 Результаты синтеза 27

2.2 Сканирующая зондовая микроскопия 28

2.2.1 Атомно-силовая микроскопия 28

2.3 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 31

2.3.1 Элементный анализ 31

2.3.2 Обзорные спектры образцов 38

Выводы 41

Список использованных источников 42

1. Сэтака Н.- Сэймицукикай.- ИСМ.- № 5373.– Киев,1991 // Синтез алмазных пленок и проблемы, связанные с этим синтезом.- Пер. с яп.- 1985.- Т.51.- В.8.- С. 1509-1514

2. Концевой Ю.А. Алмазоподобные плёнки - технология, свойства, применения // Сб. Фундаментальные проблемы российской металлургии на пороге XXI века. – Т. 4. –Под ред. Мильвидского М.Г., Уфимцева В.Б. –М., - 1998.

3. Angus J.C., Hayman C.C. // Science. –1988. –V. 241. –P. 913-921

4. . Robertson, J. Mechanical properties and structure of diamond-like carbon / J. Robertson // Diam. Rel. Mat. 1992. С. 397 – 406.

5. Robertson, J. Mechanicalpropertiesandcoordinationsofamorphouscarbons / J. Robertson //Phys. Rev. Lett. 1992. № 68. С. 220 – 223.

6. Robertson, Philos. Mag. B 76(1997) 335.

7. Концевой Ю.А. Алмазоподобные плёнки - технология, свойства, применения // Сб. Фундаментальные проблемы российской металлургии на пороге XXI века. – Т. 4. –Под ред. Мильвидского М.Г., Уфимцева В.Б. –М., - 1998.

8. Божко А.Д., Шупегин М.Л. // Плазма несамостоятельного газового разряда, как универсальный способ получения полупроводниковых и резистивных материалов со структурой алмазоподобногонанокомпозита. Технический сборник., - МЭИ, - 1996.

9. A.Llie, N.M.J. Conway, B. Kleinsorge, J. Robertson, W. I. Milne, J.Appl. Phys. 10 (1998) 5575.

10. H.Dimigen, H. Hubsch, R. Memming, Appl. Phys. Lett. 50(1987) 1056.

11. A. Grill, V. Patel, S.A. Cohen, Diam. Rel. Mater. 3(1994) 281.

12. http://tydexoptics.com/ru/materials/coatings/dlccoatings/

13. C.W. Chen, J. Robertson, Matter. Res. Soc. Symp. Proc. 498 (1998)

14. X. Shi, H. Fu, K.R. Shi, L.K. Cheach, B.K. Tay, P. hui, J. Phys. Condens. Matter 10 (1998) 9293

15. X.M. He, S.T. Lee, Y.C. Chan, L. Shu, X.S. Miao, J. Phys. Condens. Matter 10 (1998) 929

16. Свирин В.Т., Стогний А.И., Формирование пучка равномерной плотности в холловском ионном источнике с открытым торцом, Приборы и техника эксперимента, 1996, №5.

17. Технологические методы повышения износостойкости контактных площадок режущего инструмента - учебное пособие (Григорьев С.Н., Табаков В.П., Волосова М.А.)

18. Данилин Б.С., Сырчин В.К., Магнетронные распылительные системы, М.: Радио и связь, 1982.


Популярные, наиболее покупаемые работы:

  1. Анализ ценовой деятельности предприятия ООО «Вольный ветер»
  2. Договор ренты понятия, разновидности
  3. Преступления, связаные с наркотическими средствами, психотропными, сильнодействующими и ядовитыми веществами
  4. Особенности скоростно - силовой подготовки Дзюдоистов
  5. Значение идей Р. Оуэна для развития менеджмента
  6. Средства коррекции сенсорного развития дошкодльников
  7. Контрольная по Герменевтике
  8. ПЛАН ГОЭЛРО И РАЗВИТИЕ ЭНЕРГЕТИКИ В СОВЕТСКОЙ РОССИИ
  9. Особое производство
  10. Отчет о педагогической практике по физическому воспитанию
  11. Совершенствование практики использования ипытательного срока при замещении должностей государственных гражданских служащих
  12. Правовое регулирование заработной платы
  13. Восприятие формы и пространства
  14. Механизмы, проблемы и пути совершенствования налогообложения добавленной стоимости в РФ
  15. Роль СМИ в формировании образа террористической опасности в массовом сознании
  16. Финансовый контроль осуществляемый министерством финансов Российской Федерации
  17. Санкции за нарушение договоров
  18. Общественно-политическое движение в России в 19 веке
  19. Психологическое консультирование
  20. Правовое положение представительств государств при международных организациях
  21. Американский вариант английского языка. Лингвистические особенности южных диалектов
  22. Flash технологгия в средствах массовой информации
  23. Система противодействия экстремизму в Западно - Европейских странах и США, роль и место в этой деятельности полиции
  24. Ледники
  25. Обзор интерактивных учебных материалов
Структура реферата:
Как правильно самостоятельно написать:
Как правильно оформить по ГОСТ:
Инструкции по работе с программами: